发明名称 用于多晶硅副产物四氯化硅处理的收集冷却器
摘要 本实用新型提出一种用于多晶硅副产物四氯化硅处理的收集冷却器包括:内壳,所述内壳限定有内腔,所述内壳的上部设有冷却器进料口且所述内壳的下部设有冷却器出料口;外壳,所述外壳套设在所述内壳外面且与所述内壳限定出冷却介质空间,所述外壳的下部设有冷却介质入口且所述外壳的上部设有冷却介质出口;和旋体,所述旋体沿上下方向设置在所述冷却介质空间内。根据本实用新型实施例的收集冷却器,用在用多晶硅副产物四氯化硅生产二氧化硅中,四氯化硅、氧气和氢气反应生成的氯化氢和纳米级二氧化硅在该收集冷却器内冷却,且该收集冷却器结构简单,成本低,收集冷却效果好。
申请公布号 CN202054618U 申请公布日期 2011.11.30
申请号 CN201120073848.9 申请日期 2011.03.18
申请人 中国恩菲工程技术有限公司 发明人 严大洲;毋克力;肖荣晖;汤传斌;谢正和;杜俊平;谢冬晖;汪绍芬;郭富东
分类号 C01B33/12(2006.01)I;C01B7/01(2006.01)I 主分类号 C01B33/12(2006.01)I
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人 宋合成
主权项 一种用于多晶硅副产物四氯化硅处理的收集冷却器,其特征在于,包括:内壳,所述内壳限定有内腔,所述内壳的上部设有冷却器进料口且所述内壳的下部设有冷却器出料口;外壳,所述外壳套设在所述内壳外面且与所述内壳限定出冷却介质空间,所述外壳的下部设有冷却介质入口且所述外壳的上部设有冷却介质出口;和旋体,所述旋体沿上下方向设置在所述冷却介质空间内。
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