图像形成方法和装置

摘要

本发明涉及用于在辐射敏感材料上形成图案的装置，该装置包括形成辐射光束的源、用来在所述辐射敏感材料上扫描来自所述辐射源的至少一束光的扫描组件，用来按照输入图案数据文件在扫描期间调制所述至少一束光的调制器，其中对所述光束的调制在所述工件上产生相干的子图像，并且非相干地叠加多个子图像，以产生最终的图像。本发明同样也涉及用于对工件形成图案的方法以及同一类的工件。

主权项

一种用于形成图像的方法，包括步骤：提供一种激光源；经由光束分离器将来自所述激光源的光束分离为子光束阵列；扫描在工件上的所述子光束阵列；以及按照输入图案数据文件对扫描期间的所述子光束阵列进行调制，其中子光束的调制在工件上产生相干的子图像，对几个子图像进行非相干叠加以产生最终的图像。