平栅极表面传导场发射阴极结构及其制作方法

摘要

本发明公开一种平栅极表面传导场发射阴极结构，包括设置于玻璃基板表面的数据电极、方块栅极阵列、介质层、行扫描电极、电子发射层，数据电极和方块栅极阵列相互平行设置于玻璃基板同一平面，数据电极由多列相互平行的条状阴极电极组成，方块栅极阵列由多列相互平行的方块栅极子阵列组成，每列方块栅极子阵列由多个等间距纵向分布的方块栅极构成，条状介质层设置于相邻的方块栅极间，并与数据电极相互垂直，行扫描电极由纵向连接电极和设置于条状介质层上的多行相互平行的条状横向电极构成，每个纵向连接电极均导通一个方块栅极，电子发射层设置于未被条状介质层覆盖的阴极电极表面及阴极电极与方块栅极之间的间隙内。该场发射阴极结构不仅可实现栅极低压调控和表面传导，提高电子发射的均匀性和效率，而且具有结构简单、制造工艺容易、成本低廉、制造过程稳定可靠的优点。本发明还公开一种制造平栅极表面传导场发射阴极结构的方法。

主权项

一种平栅极表面传导场发射阴极结构，包括玻璃基板和设置于玻璃基板表面的数据电极、方块栅极阵列、介质层、行扫描电极、电子发射层，其特征在于：所述数据电极和方块栅极阵列设置于上述玻璃基板同一平面上，该数据电极由多列相互平行的条状阴极电极组成，该方块栅极阵列由多列相互平行的方块栅极子阵列组成，每列方块栅极子阵列由多个等间距纵向分布的方块栅极构成，所述条状阴极电极与方块栅极子阵列交替排列且相互平行，所述条状介质层设置于相邻的方块栅极之间，并与数据电极相互垂直，所述行扫描电极由纵向连接电极和设置于条状介质层上的多行相互平行的条状横向电极构成，所述的每个纵向连接电极均对应一个方块栅极，纵向连接电极连接方块栅极，使得方块栅极和行扫描电极导通，所述电子发射层等间距地设置于未被条状介质层覆盖的阴极电极表面及阴极电极与方块栅极之间的间隙内。