微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法

摘要

一种微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置，包括：一光学测量单元，用于测量微机电系统机械组元的轮廓曲线，获得被测微机电系统机械组元在失效前后的三维形貌信息或动态位移信息；一环境腔室，用于放置被测微机电系统机械组元，所述各种环境条件包括真空、气压、气氛、温度和湿度；一XY工作台，环境腔室放置在XY工作台上，可跟随XY工作台在水平面内移动，环境腔室的质量低于XY工作台正常工作的载荷限制；一环境控制与测量单元，保证在环境腔室内实现所需的各种环境条件并测量相应的环境参数；一数据采集和控制单元，用于控制XY工作台，并带动环境腔室在水平面内移动；环境控制与测量单元，实现与测量各种环境条件。

主权项

一种微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置，其特征在于，该装置包括：一光学测量单元，用于测量微机电系统机械组元的轮廓曲线，获得被测微机电系统机械组元在失效前后的三维形貌信息或动态位移信息；一环境腔室，用于放置被测微机电系统机械组元，并实现微机电系统机械组元可靠性测试所需的各种环境条件，所述各种环境条件包括真空、气压、气氛、温度和湿度；一XY工作台，环境腔室放置在XY工作台上，可跟随XY工作台在水平面内移动，环境腔室的质量低于XY工作台正常工作的载荷限制；一环境控制与测量单元，保证在环境腔室内实现所需的各种环境条件并测量相应的环境参数，所述环境控制与测量单元包括：真空实现装置，通过抽气接口法兰与环境腔室连接，用于实现环境腔室内的真空环境，该真空实现装置包括低真空泵和通过波纹管与之连接的高真空泵，所述真空实现装置包括减振质量块，位于高真空泵和环境腔室的抽气接口法兰之间，用于支撑和固定波纹管，可减小高真空泵通过波纹管向环境腔室传递的机械振动，从而防止对XY工作台的损害；真空测量装置，通过真空测量接口法兰与环境腔室连接，用于测量环境腔室内的真空度，该真空测量装置包括低真空规、高真空规和真空计；气氛调节装置，通过进气口与环境腔室连接，用于实现环境腔室内的不同气氛环境，该气氛调节装置包括气源、质量流量控制器和调节阀门；湿度调节装置，通过进气口与环境腔室连接，用于实现环境腔室内的不同湿度环境，该湿度调节装置包括加湿装置、湿气管道和控制阀门；温湿度测量装置，通过电极接口法兰与环境腔室连接，用于测量环境腔室内的温度和湿度，该温湿度测量装置是温湿度集成测量元件或者温度、湿度测量的分立元件；一数据采集和控制单元，用于控制XY工作台，并带动环境腔室在水平面内移动。