| 发明名称 | 传送工具 | ||
| 摘要 | 一种传送工具包括：第一支撑架，被安转以使之能沿半导体器件处理器的传送工具导轨移动；一对第二支撑架，以一间隙与第一支撑架相连接，并具有多个拾取半导体器件、之间有间隙的拾取器；以及竖直间隙控制器，通过移动一对第二支撑架控制一对第二支撑架的间隙，其中，竖直间隙控制器包括：安装在第一支撑架，产生竖直的驱动力的竖直驱动单元；以及安装在第一支撑架、并连接到第二支撑架的线性运动单元，通过被竖直驱动单元线性移动来控制第二支撑架之间的间隙。 | ||
| 申请公布号 | CN101630650B | 申请公布日期 | 2011.11.30 |
| 申请号 | CN200910164718.3 | 申请日期 | 2009.07.16 |
| 申请人 | 宰体有限公司 | 发明人 | 柳弘俊 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 张晶 |
| 主权项 | 一种传送工具，其包括：第一支撑架，被安装以使之能沿半导体器件处理器的传送工具导轨移动；一对第二支撑架，以一间隙与所述第一支撑架相连接，并具有多个拾取半导体器件、之间有间隙的拾取器；以及竖直间隙控制器，通过移动所述一对第二支撑架控制所述一对第二支撑架的间隙，其中，所述竖直间隙控制器包括：安装在所述第一支撑架，产生竖直的驱动力的竖直驱动单元；以及安装在所述第一支撑架，并连接到所述第二支撑架的线性运动单元，通过被该竖直驱动单元线性移动来控制所述第二支撑架之间的间隙。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道天安市 | ||