光开关和光开关阵列

摘要

本发明实施例公开了一种光开关，其包括：半导体衬底，其包括第一转动部和设置在所述转动部两端的第一扭转梁，所述第一扭转梁用于带动所述第一转动部进行转动；微反射镜，其设置在所述半导体衬底的第一转动部的表面；第一锁定结构，其设置在所述第一扭转梁表面，且包括形态自适应重塑FSR材料层和热场源，所述热场源用于为所述FSR材料层提供热场，所述FSR材料层用于在所述热场作用下发生形态重塑，以将所述第一转动部和所述微反射镜锁定在转动后的位置。本发明实施例还进一步公开了一种光开关阵列。

主权项

一种光开关，其特征在于，包括：半导体衬底，其包括第一转动部和设置在所述第一转动部两端的第一扭转梁，所述第一扭转梁用于带动所述第一转动部进行转动；微反射镜，其设置在所述半导体衬底的第一转动部的表面；第一锁定结构，设置在所述第一扭转梁，其包括形态自适应重塑FSR材料层和热场源，所述热场源用于为所述FSR材料层提供热场，所述FSR材料层用于在所述热场作用下发生形态重塑，以将所述第一转动部和所述微反射镜锁定在转动后的位置。