发明名称 一种制备CdS/ZnS纳米线异质结的方法
摘要 本发明属于纳米线异质结制备领域,是一种在催化剂辅助下用真空热蒸发法生长CdS纳米线,并在其径向包覆ZnS的方法。具体实施工艺如下:第一步,将CdS和Bi粉按1∶0.05mol的比例均匀混合作为原料,置于钼片制成的电阻加热舟中,舟上方1.0cm-2.0cm处放置衬底。蒸发过程中蒸发炉内真空度保持在5×10-3Pa-5×10-2Pa,加热电流为100A-120A,沉积时间为2min-10min,制备出CdS纳米线。第二步,以ZnS粉为原料,置于舟中,以CdS纳米线为衬底。将衬底置于舟上方1.0cm-2.0cm处,蒸发过程中蒸发炉内真空度保持在5×10-3Pa-5×10-2Pa,沉积电流为120A-140A,沉积时间为2min-10min,在CdS纳米线上包覆ZnS。最终得到CdS/ZnS纳米线径向异质结。本发明所得的CdS/ZnS纳米线异质结具有光学特性好、形貌均匀等特点;且方法简单,易于推广,适合大规模工业生产。
申请公布号 CN102263036A 申请公布日期 2011.11.30
申请号 CN201110182882.4 申请日期 2011.07.01
申请人 新疆大学 发明人 姚菊枚;王贺勇;杨冰;杨林钰;简基康
分类号 H01L21/363(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;C23C14/26(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 主分类号 H01L21/363(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 本发明为一种用真空热蒸发法生长CdS单晶纳米线并在其周围包覆ZnS多晶层的方法,其特征在于通过以下工艺过程实现:第一步,在制备CdS纳米线时,以1∶0.005的摩尔比将CdS粉与金属Bi粉均匀混合后置于钼片做的电阻加热舟中,加热舟置于真空蒸发炉内,衬底置于蒸发源上方1.0厘米至2.0厘米处,腔体的真空度保持在5×10‑3Pa‑5×10‑2Pa,沉积电流为100A‑120A,热蒸发沉积时间为2分钟‑10分钟,在衬底上制得黄色沉积物,即为CdS单晶纳米线。第二步,用ZnS粉作为原料置于加热舟中,以制备的CdS纳米线作为衬底,置于加热舟上方1.0厘米至2.0厘米处,腔体的真空度保持在5×10‑3Pa‑5×10‑2Pa,沉积电流为120A‑140A,热蒸发沉积时间为2分钟‑10分钟,在CdS样品表面包覆白色或灰白色沉积物,即为CdS/ZnS的纳米线异质结。
地址 830046 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市胜利路14号新疆大学物理科学与技术学院