基于石墨烯的霍尔集成电路及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯的霍尔集成电路及其制备方法。该霍尔集成电路包括霍尔元件和对霍尔元件输出的霍尔电压信号进行放大的放大器，霍尔元件和放大器中的场效应晶体管都采用石墨烯作为沟道材料，在制备工艺上具有很好的兼容性。而且本发明的霍尔集成电路具有较高的灵敏度和温度稳定性，在电压模式和电流模式下都可以较好地工作。

主权项

一种霍尔集成电路，包括霍尔元件和对霍尔元件输出的霍尔电压信号进行放大的放大器，其特征在于，所述霍尔元件包括一对激励电极、一对霍尔电极和以石墨烯为材料的沟道，一对激励电极分别与沟道两端接触，一对霍尔电极分别与沟道两侧接触；所述放大器包括一个或多个场效应晶体管，所述场效应晶体管的沟道材料是石墨烯。