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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR101088495(B1) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 KR20080137246 申请日期 2008.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;G02F1/13;H01L21/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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