| 发明名称 | 钌化合物、其制造方法、使用其制造含钌薄膜的方法、以及含钌薄膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种(2，4-二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌，即使该化合物含有类似化合物时也可由其制造含钌薄膜；制造该含钌化合物的方法；使用所述化合物制造含钌薄膜的方法；以及含钌薄膜。从含有所述类似化合物的(2，4-二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌分离出该类似化合物，由此得到所述(2，4-二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌，其中该类似化合物的含量为5重量％以下。该含钌化合物用作制备薄膜的原料。 | ||
| 申请公布号 | CN102264754A | 申请公布日期 | 2011.11.30 |
| 申请号 | CN200980152740.4 | 申请日期 | 2009.12.21 |
| 申请人 | 东曹株式会社 | 发明人 | 古川泰志;大岛宪昭;河野和久;千叶洋一 |
| 分类号 | C07F17/02(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I | 主分类号 | C07F17/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 孔宪静 |
| 主权项 | 一种(2，4 二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌，其含有5重量％或更少量的一种或多种(2，4 二甲基戊二烯基)(乙基环戊二烯基)合钌类似结构化合物。 | ||
| 地址 | 日本山口县 | ||