发明名称 |
用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置 |
摘要 |
本发明公开了用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置,其特点是该装置由CdS/CdTe的形成装置,CdCl2热处理装置和背电极制作装置组成。CdS/CdTe的形成装置依次由进料仓(1)、CdS镀膜仓(2)、过渡仓(3)、CdTe镀膜仓(4)和出料仓(5)组成;CdCl2热处理装置采用近空间升华法装置将CdCl2镀在CdS/CdTe面上;背电极制作装置与CdS/CdTe形成装置基本相同,只是将CdS镀膜仓换成ZnTe镀膜仓,CdTe镀膜仓换成Ni镀膜仓。然后采用磁控溅射法将CdS、CdTe、CdCl2、ZnTe:Cu和Ni分别溅射到经清洗激光刻的导电玻璃工件上,用超声焊机焊上引出电极,用UV胶在电池背面涂覆约200~500μm厚的胶膜,经UV干燥机干燥后形成完整的太阳能电池。 |
申请公布号 |
CN101640233B |
申请公布日期 |
2011.11.30 |
申请号 |
CN200910164225.X |
申请日期 |
2009.08.21 |
申请人 |
成都中光电阿波罗太阳能有限公司 |
发明人 |
侯仁义 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
成都科海专利事务有限责任公司 51202 |
代理人 |
邓继轩 |
主权项 |
用磁控溅射法生产CdS/CdTe太阳能电池的装置,其特征在于该装置由CdS/CdTe的形成装置,CdCl2热处理装置和背电极制作装置组成:(1)CdS/CdTe的形成装置CdS/CdTe的形成装置由进料仓(1)、CdS镀膜仓(2)、过渡仓(3)、CdTe镀膜仓(4)和出料仓(5)组成,进料仓(1)内设加热器(9)和输送系统(6),输送系统通过CdS镀膜仓(2)、过渡仓(3)、CdTe镀膜仓(4)和出料仓(5)构成循环系统;仓与仓之间设隔离门(15),进料仓外分别与真空系统(8)、氩气系统(10)和控制系统(12)连接;CdS镀膜仓(2)内设CdS靶头(13),靶头一端与冷却水进口及靶头电源(17)连接,靶头另一端与冷却水出口(18)连接;输送系统(6)上放置工件夹具(20),工件夹具固定工件(7),CdS镀膜仓的前、后设真空门(19),真空门与CdS镀膜仓的连接处设密封圈(16),CdS镀膜仓外分别与真空系统、氩气系统和控制系统连接;过渡仓(3)内设输送系统、过渡工件,过渡仓外分别与真空系统、氩气系统和控制系统连接;CdTe镀膜仓(4)内设CdTe靶头(14),其余部分设置和连接同CdS镀膜仓(2);出料仓(5)的设置和连接同过渡仓(3),全部仓位由支架(11)支撑;(2)CdCl2热处理装置将上述装置形成的CdS/CdTe膜的工件用激光刻第二条线后进入CdCl2热处理装置,当工件加热至250~270℃将CdCl2加热至390~420℃采用近空间升华法装置将CdCl2镀在CdS/CdTe面上;(3)背电极制作装置背电极制作装置由进料仓(1)、ZnTe镀膜仓(2)、过渡仓(3)、Ni镀膜仓(4)和出料仓(5)组成,它与CdS/CdTe的形成装置基本相同,进料仓(1)的设置和连接同CdS/CdTe的形成装置的进料仓,ZnTe镀膜仓(2)的设置和连接同CdS镀膜仓、过渡仓的设置和连接同CdS/CdTe的形成装置的过渡仓,Ni镀膜仓(4)的设置和连接同CdTe镀膜仓、出料仓(5)的设置和连接同CdS/CdTe的形成装置的出料仓;采用磁控溅射法将CdS、CdTe、ZnTe:Cu和Ni分别溅射到经清洗激光刻的导电玻璃工件上,用超声焊机焊上引出电极,用UV胶在电池背面涂覆200~500μm厚的胶膜,经UV干燥机干燥后形成完整的太阳能电池。 |
地址 |
610207 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区腾飞三路485号 |