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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER SURFACE PROTECTING SHEET AND SEMICONDUCTOR WAFER PROTECTING METHOD USING SUCH PROTECTING SHEET
摘要
申请公布号 EP1850375(B1) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 EP20060713838 申请日期 2006.02.16
申请人 MITSUI CHEMICALS, INC. 发明人 SAIMOTO, YOSHIHISA;URAKAWA, TOSHIYA;NAKAJIMA, AKEMI;AKAI, IKUO;AIHARA, SHIN
分类号 H01L21/683;C09J7/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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