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发明名称 METHODS FOR DETERMINING THE ENDPOINT OF A CLEANING OR CONDITIONING PROCESS IN A PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 IL186108(A) 申请公布日期 2011.11.30
申请号 IL20070186108 申请日期 2007.09.20
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION;ERIC HUDSON;KEIL, DOUGLAS;ALEXEI MARAKHTANOV 发明人 ERIC HUDSON;KEIL, DOUGLAS;ALEXEI MARAKHTANOV
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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