| 发明名称 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТОГО ДИОКСИДА КРЕМНИЯ |
| 摘要 |
Способ получения пористой пленки диоксида кремния нанометровой толщины, отличающийся тем, что для ее формирования используется магнетронное распыление комбинированной мишени Si+C с соотношением площадей, занимаемых на мишени кремния графитом от 80/20 до 20/80 в смеси газов Аr+О2 в соотношении 1/10 при давлении в вакуумной камере (6÷4)·10-3 мм рт.ст. |
| 申请公布号 |
RU2010118778(A) |
申请公布日期 |
2011.11.27 |
| 申请号 |
RU20100118778 |
申请日期 |
2010.05.11 |
| 申请人 |
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Томский государственный университет систем управл |
发明人 |
Усов Сергей Петрович (RU);Сахаров Юрий Владимирович (RU);Троян Павел Ефимович (RU) |
| 分类号 |
H01L21/36 |
主分类号 |
H01L21/36 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
