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发明名称 CYLINDER FOR THERMAL PROCESSING CHAMBER
摘要
申请公布号 KR101086152(B1) 申请公布日期 2011.11.25
申请号 KR20040044023 申请日期 2004.06.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/683;C23C16/04;C23C16/24;H01L21/00;H01L21/687 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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