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发明名称
摘要
申请公布号
JP4823566(B2)
申请公布日期
2011.11.24
申请号
JP20050147829
申请日期
2005.05.20
申请人
发明人
分类号
H01L51/50;G09F9/30;H01L27/32
主分类号
H01L51/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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