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发明名称
摘要
申请公布号
JP4820802(B2)
申请公布日期
2011.11.24
申请号
JP20070292938
申请日期
2007.11.12
申请人
发明人
分类号
H01L27/10;H01L21/8242;H01L27/108
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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