| 发明名称 | 适用于轻掺及中高阻直拉硅单晶的掺杂装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种适用于轻掺及中高阻直拉硅单晶的掺杂装置，包括上吊杆（1）、下挂架（2）和石英托盘（6）；在下挂架（2）的上表面搁置三爪架（3），上吊杆（1）从上至下的贯穿三爪架（3）的中心通孔后与下挂架（2）固定相连，与三爪架（3）固定相连的不锈钢导轨（4）从上至下的贯穿下挂架（2），石英托盘（6）位于不锈钢导轨（4）的下方，石英托盘（6）的左端通过左石英吊杆（5）与不锈钢导轨（4）的底端固定相连，石英托盘（6）的右端通过右石英吊杆（8）与下挂架（2）的底端固定相连。在常规的CZ单晶炉中使用该掺杂装置，能轻易实现向炉内的晶锭原料中添加掺杂剂。 | ||
| 申请公布号 | CN202047173U | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
| 申请号 | CN201120085198.X | 申请日期 | 2011.03.28 |
| 申请人 | 杭州海纳半导体有限公司 | 发明人 | 李巨晓;孙新利;王飞尧;何国君;张立安 |
| 分类号 | C30B31/02(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B31/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人 | 金祺 |
| 主权项 | 适用于轻掺及中高阻直拉硅单晶的掺杂装置，其特征是：包括上吊杆（1）、下挂架（2）和用于盛放掺杂剂的石英托盘（6）；在下挂架（2）的上表面搁置三爪架（3），上吊杆（1）从上至下的贯穿三爪架（3）的中心通孔后与下挂架（2）固定相连，与三爪架（3）固定相连的不锈钢导轨（4）从上至下的贯穿下挂架（2），石英托盘（6）位于不锈钢导轨（4）的下方，所述石英托盘（6）的左端通过左石英吊杆（5）与不锈钢导轨（4）的底端固定相连，石英托盘（6）的右端通过右石英吊杆（8）与下挂架（2）的底端固定相连。 | ||
| 地址 | 310053 浙江省杭州市滨江区信诚路99号 | ||