器件承载装置

摘要

本发明公开一种器件承载装置，包含：一承载台、一真空系统、一供气系统及一放电系统。所述承载台具有一承载面、一底面及至少一通孔，且所述通孔导通所述承载面及所述底面；所述真空系统提供一真空吸力至所述通孔；所述供气系统用以输出至少一种气体至所述通孔；所述放电系统对所述气体放电，使所述气体电离成一离子流体。因此，所述通孔可用以提供所述真空吸力以承载及吸引一器件；或用以在对所述器件解除真空时提供所述离子流体，以便更有效率、更均匀且更迅速的消除所述器件的表面的静电。

主权项

一种器件承载装置，其特征在于：所述器件承载装置包含：一承载台，具有一承载面及至少一通孔，且所述通孔开设于所述承载面；一真空系统，提供一真空吸力至所述通孔；一供气系统，输出至少一种气体至所述通孔；以及一放电系统，对所述气体放电，使所述气体电离成一离子流体；其中所述通孔用以提供所述真空吸力以承载及吸引一器件；或用以在对所述器件解除真空时提供所述离子流体，以便消除所述器件的表面的静电。