| 发明名称 | 剥离方法及剥离液 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在短时间内容易地从基板上剥离支承板的剥离方法，其为将利用粘接剂粘贴于设有在厚度方向贯通的贯通孔的支承板的基板从该支承板剥离的方法，其中，包括有经由贯通孔使剥离液与粘接剂接触来溶解粘接剂的工序，粘接剂为以烃树脂为粘着成分的粘接剂，剥离液为粘度为1.3mPa·s以下、且对粘接剂的溶解速度为30nm/sec以上的烃系溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN102254789A | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
| 申请号 | CN201110083255.5 | 申请日期 | 2011.03.30 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 田村弘毅;浅井隆宏;久保安通史;今井洋文;吉冈孝广 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;C11D7/24(2006.01)I;C11D7/50(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 翟赟琪 |
| 主权项 | 一种剥离方法，其是将利用粘接剂粘贴于支承板的基板从该支承板剥离的方法，所述支承板设有在厚度方向贯通的贯通孔，其特征在于，包括使剥离液经由所述贯通孔与所述粘接剂接触来溶解所述粘接剂的工序，所述粘接剂为以烃树脂为粘着成分的粘接剂，所述剥离液为粘度为1.3mPa·s以下、且对所述粘接剂的溶解速度为30nm/sec以上的烃系溶剂。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||