发明名称 基板搬运装置
摘要 本发明提供一种基板搬运装置,其可抑制设置面积的增加。本发明的基板搬运装置具备:第一操作装置(6)及第二操作装置(7),其是从收纳多片玻璃基板(3)的一玻璃基板包装箱(2)中取出玻璃基板(3);第一输送带(9),其运送通过第一操作装置(6)所取出的玻璃基板(3);以及第二输送带(10),其运送通过第二操作装置(7)所取出的玻璃基板(3),并且第一操作装置(6)及第二操作装置(7)分别设置于一玻璃基板包装箱(2)的两侧附近,交替取出玻璃基板(3)。
申请公布号 CN101193811B 申请公布日期 2011.11.23
申请号 CN200680020234.6 申请日期 2006.04.05
申请人 夏普株式会社 发明人 吉泽武德
分类号 B65G43/08(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 B65G43/08(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 葛青
主权项 一种基板搬运装置,其特征在于,具有如下结构,包括:第一操作装置及第二操作装置,其从收纳有多片基板的一基板包装箱中取出该基板;第一输送带,其搬运由所述第一操作装置所取出的基板;以及第二输送带,其搬运由所述第二操作装置所取出的基板;其中,所述第一操作装置及所述第二操作装置分别配置于所述一基板包装箱的两侧附近,交替取出所述基板;并且,所述基板包装箱是将多片基板及由该基板所夹的缓冲材料以重叠状态装载的托板,此外,还具备除去所述缓冲材料的一缓冲材料除去装置,并且该缓冲材料除去装置配置于所述第一操作装置与所述第二操作装置之间的附近。
地址 日本大阪府