发明名称 |
离子源、系统和方法 |
摘要 |
公开了离子源、系统和方法。 |
申请公布号 |
CN101361157B |
申请公布日期 |
2011.11.23 |
申请号 |
CN200680051579.8 |
申请日期 |
2006.11.15 |
申请人 |
阿利斯公司 |
发明人 |
比利·W·沃德;约翰·A·诺特四世;路易斯·S·法卡斯三世;兰德尔·G·珀西瓦尔;雷蒙德·希尔;拉斯·马克沃特;德克·阿德霍尔德 |
分类号 |
H01J37/28(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;H01J37/08(2006.01)I;H01J37/252(2006.01)I;H01J37/305(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I;H01J27/26(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I;G01N23/225(2006.01)I;G12B21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/28(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
一种包括离子源的系统,包括:气体场离子源,能够与气体相互作用从而产生与样品相互作用的离子束,从而引起多种不同类型的粒子离开所述样品;以及至少一探测器,被配置使得在使用期间,所述至少一探测器可以探测至少一些所述粒子,其中对于给定的被探测的粒子,所述至少一探测器根据所述给定的被探测的粒子的能量而产生信号,其中对于所述给定的被探测的粒子,由所述至少一探测器产生的信号也根据所述给定被探测的粒子的轨迹的角度。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |