压电振动设备及其制造方法

摘要

水晶振子中，基体和盖接合，构成作为框体的箱体，在该箱体内形成内部空间。水晶振动片保持在该内部空间的基体上，箱体的内部空间被气密地密封着。另外，对水晶振动片往基体上的安装，设定内部空间中的水晶振动片的+X轴方向。

主权项

压电振动设备，由基体和盖构成具有内部空间的箱体，压电振动片保持在上述内部空间内的上述基体上，其特征在于，设定了上述内部空间内的上述压电振动片的+X轴方向；上述压电振动片由基部和从该基部伸出的若干根脚部构成；在上述脚部上形成了由异电位构成的激励电极；在上述基部和上述脚部上，形成了将上述激励电极在上述基部与外部电极电气连接用的、从上述激励电极引出的引出电极；在上述基部的表侧主面上，从至少一个侧面起沿着±X轴方向形成了沟槽部或贯通部。