一种真空腔的泄露量检测仪及检测方法

摘要

本发明公开了一种真空腔的泄露量检测仪及检测方法，包括压差传感器以及控制器，压差传感器包括两个气体输入端，其中一个气体输入端与大气相连，另一个气体输入端与待测真空腔相连；控制器包括电源模块，信号处理模块，处理器以及告警输出模块，处理器通过信号处理模块获得首次真空腔相对大气的压力；经过预设的时间后，处理器通过信号处理模块获得第二次真空腔相对大气的压力；处理器计算两次真空腔相对于大气的实际压力差值；将实际压力差值与预设在处理器内的设定压力差值进行比较后，由告警输出模块根据比较结果发出相应的信号。本发明的泄露量检测仪及检测方法具有测量精度高、简单直观，能够满足大规模生产需求等特点。

主权项

一种真空腔的泄露量检测仪，其特征在于：包括压差传感器以及控制器，所述压差传感器包括两个气体输入端，其中一个气体输入端与大气相连，另一个气体输入端与待测真空腔相连；所述控制器包括电源模块，信号处理模块，处理器以及告警输出模块，所述信号处理模块的输入端与所述压差传感器的输出端相连，所述处理器的输入端与所述信号处理模块的输出端相连，所述告警输出模块的输入端与所述处理器的输出端相连。