被处理体的移载机构、移载方法及其处理系统

摘要

本发明提供一种被处理体的移载机构、移载方法及其处理系统。被处理体移载机构(76)可相对于具有圆环状的载置台(86)的被处理体舟(40)移载被处理体W，移载机构(76)具有在载置被处理体(W)的状态下，可前进和后退的叉主体(78)；设在叉主体(78)的前端的止挡部件(94)；具有设在叉主体(78)的基端，与被处理体(W)的周边边缘接触并向止挡部件(94)侧按压被处理体的按压部(102)的夹紧装置(96)；和可使叉主体(78)上下运动的叉升降装置(80)。当相对于被处理舟(40)移载被处理体时，控制夹紧装置(96)的按压部(102)，以使其不插入载置台(86)间的间隙中，因此即使载置台(86)间距小，夹紧装置(96)的按压部(102)也不与被处理体舟干涉。

主权项

一种被处理体的移载方法，其利用被处理体的移载机构，向以规定的间距沿多层配置，并具有分别载置被处理体的圆环状的载置台的被处理体舟移载所述被处理体，并且，从所述被处理体舟移载所述被处理体，其特征在于：所述被处理体移载机构包括：叉主体，其能够在载置有所述被处理体的状态下前进和后退；止挡部件，其设在所述叉主体的前端部，并与所述被处理体的周边部接触；夹紧装置，其具有按压部，该按压部设在所述叉主体的基端部侧，能够沿着所述叉主体的长度方向相对于所述叉主体前进和后退，与所述被处理体的周边部接触，向所述止挡部件侧按压所述被处理体进行夹紧；控制所述移载机构动作的移载控制部；和叉升降装置，其沿着所述被处理体舟使所述叉主体上下运动，所述被处理体的移载方法具有：将载置于所述叉主体上的所述被处理体载置在所述被处理体舟上的载置工序；和利用所述叉主体接收载置于所述被处理体舟上的所述被处理体的接收工序，所述载置工序包括当向所述被处理体舟移载所述被处理体时，使所述叉主体朝向所述被处理体舟前进，并在所述按压部即将到达所述被处理体舟的所述载置台间的间隙之前，使所述按压部后退至不与所述载置台干涉的位置的载置时接近工序；所述接受工序包括从所述被处理舟移载所述被处理体时，使所述叉主体朝向所述被处理体舟前进，并直到在所述夹紧装置的所述按压部即将到达所述载置台间的间隙之前，使所述按压部后退至不与所述载置台干涉的接收时接近工序。