发明名称 |
半导体器件以及制造半导体器件的方法 |
摘要 |
提供了一种半导体器件,用于进行入射光的光电转换,其包括:p型衬底(1),具有预定深度并形成于p型衬底(1)的预定区域中的n型阱(2),和在p型衬底(1)和n型阱(2)之间的结界面处产生的耗尽层。提供沟槽(22),其深度大于在n型阱(2)底面侧上产生的耗尽层(K1)的深度,且其宽度大于在n型阱(2)侧面上产生的耗尽层(K2,K3)的宽度,以去除n型阱(2)侧面上的结界面(J2,J3),并将绝缘层(21)埋置到沟槽(22)中。 |
申请公布号 |
CN101026196B |
申请公布日期 |
2011.11.23 |
申请号 |
CN200710092384.4 |
申请日期 |
2007.02.17 |
申请人 |
精工电子有限公司 |
发明人 |
岩崎淳;鹰巢博昭 |
分类号 |
H01L31/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/10(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
张雪梅;刘宗杰 |
主权项 |
一种半导体器件,用于进行入射光的光电转换,其包括:由n型半导体和p型半导体中的一种形成的衬底;具有预定深度的阱区,其形成于衬底的预定区域中,且由n型半导体和p型半导体中的另一种形成;在衬底和阱区之间的结界面附近产生的耗尽层;沟槽,其深度大于在阱区底侧上产生的耗尽层部分的深度,且其宽度大于在阱区侧面上产生的耗尽层部分的宽度,并且被提供用来去除阱区侧面上的结界面;和埋置在所述沟槽中的绝缘体。 |
地址 |
日本千叶县千叶市 |