用于化学气相沉积工艺的机台

摘要

一种用于化学气相沉积工艺的机台，其包含边框、导块、第一固定件和第二固定件。导块突出于边框的一边上，且向边框的中心方向延伸。第一固定件朝向边框的一侧开设凹口，第一固定件由陶瓷构成。第二固定件朝向第一固定件的一侧以可拆卸的方式嵌合于凹口，朝向导块的一侧包含沟槽，导块以可拆卸的方式嵌合于沟槽，第二固定件由铝合金并镀上陶瓷阳极膜构成。本发明提供的用于化学气相沉积工艺的机台，使用不易崩裂且可于化学气相沉积工艺机台上替换固定沟槽的陶瓷。

主权项

一种用于化学气相沉积工艺的机台，其特征在于，包含：一边框；一第一固定件，朝向该边框的一侧开设一凹口，该第一固定件由一第一材质构成，该第一材质为陶瓷；一第二固定件，其以朝向该第一固定件的一侧嵌合于该凹口，而另一侧包含一沟槽，该第二固定件由一第二材质构成，该第二材质为锻造铝合金，并镀上一结晶相α‑Al2O3的陶瓷阳极膜；以及一导块，突出于该边框的一边上，并向该边框的中心方向延伸，且该导块嵌合于该沟槽内。