发明名称 |
一种铌酸锂光波导的制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种铌酸锂光波导的制备方法,该方法选用掺锌或者掺镁的铌酸锂晶体,采用外加电场极化的方法在掺杂铌酸锂晶体上制作周期畴反转结构,以此为波导层,通过折射率低于波导层的光学胶与铌酸锂或者钽酸锂衬底黏胶键合,再用ICP干法刻蚀出脊形波导结构,得到铌酸锂波导。本发明采用的胶层与空气折射率更接近,所以波导中光场限制作用更强且光场呈对称分布,与单模光纤的耦合效率更高。采用黏胶键合,使得晶圆表面洁净度和粗糙度的要求要远低于直接键合的晶圆表面,工艺上更容易实现。使得此方法制备的铌酸锂光波导在增强光场限制作用,降低波导传输损耗,抑制光折变效应以及降低制作工艺难度等方面有较优越的性能。 |
申请公布号 |
CN102253451A |
申请公布日期 |
2011.11.23 |
申请号 |
CN201110124344.X |
申请日期 |
2011.05.13 |
申请人 |
华中科技大学 |
发明人 |
孙军强;周钰杰;冯力群 |
分类号 |
G02B6/138(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/138(2006.01)I |
代理机构 |
华中科技大学专利中心 42201 |
代理人 |
朱仁玲 |
主权项 |
一种铌酸锂光波导的制备方法,包含以下步骤:(1)选取掺锌浓度为7~9mol%的铌酸锂晶体作为波导层,掺镁浓度为5~9mol%的铌酸锂晶体作为衬底;或者选取掺镁浓度为5~9mol%的铌酸锂晶体作为波导层,钽酸锂晶体作为衬底;(2)对波导层进行周期极化,得到波导层的周期畴反转结构;(3)采用光学胶将波导层和衬底对齐黏合,所述光学胶的折射率低于波导层的折射率;(4)将波导层的厚度减少至所设计的波导高度;(5)将所设计的波导结构图形光刻到波导层上;(6)将波导层刻蚀成脊形结构,即得到铌酸锂光波导。 |
地址 |
430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |