放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜的形成

摘要

本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物，其含有不饱和羧酸或不饱和羧酸酐与(甲基)丙烯酰氧基氧杂环丁烷的共聚物、1，2-醌二叠氮化合物和热敏性酸生成化合物。该组合物没有安全性上的问题，灵敏度、分辨率、作为溶液的保存稳定性等优良，在显影工序中即使超过最适显影时间，也可以形成良好的图案形成，具有良好的显影余量，可用于形成层间绝缘膜和微透镜。

主权项

1.一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于含有：[A](a1)和(a2)的共聚物100重量份，其中(a1)为选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种(a2)为选自下式(1)表示的化合物和下式(2)表示的化合物中的至少一种，式(1)中，R表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基，R¹表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基，R²、R³、R⁴和R⁵相互独立地表示氢原子、氟原子、碳原子数为1～4的烷基、碳原子数为6～20的芳基或碳原子数为1～4的全氟烷基，n相互独立地为1～6的整数；式(2)中，R、R¹、R²、R³、R⁴和R⁵以及n与上式(1)中的定义相同；[B]1，2-醌二叠氮化合物5～100重量份，和[C]非离子性热敏性酸生成化合物0.01～20重量份，其是选自N-(三氟甲磺酰氧基)苯二甲酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)-7-氧杂二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(三氟甲磺酰氧基)二环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧酰亚胺、N-(10-樟脑磺酰氧基)苯二甲酰亚胺、N-(10-樟脑磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(10-樟脑磺酰氧基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(10-樟脑磺酰氧基)-7-氧杂二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(10-樟脑磺酰氧基)二环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧酰亚胺、N-(10-樟脑磺酰氧基)萘基亚胺、N-(对甲苯磺酰氧基)苯二甲酰亚胺、N-(对甲苯磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(对甲苯磺酰氧基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(对甲苯磺酰氧基)-7-氧杂二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(对甲苯磺酰氧基)二环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧酰亚胺、N-(对甲苯磺酰氧基)萘基亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)苯二甲酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)-7-氧杂二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)二环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧酰亚胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)萘基亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)苯二甲酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)-7-氧杂二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)二环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧酰亚胺、N-(4-三氟甲基苯磺酰氧基)萘基亚胺、N-(九氟正丁烷基磺酰氧基)苯二甲酰亚胺、N-(九氟正丁烷基磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(九氟正丁烷基磺酰氧基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(九氟正丁烷基磺酰氧基)-7-氧杂二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(九氟正丁烷基磺酰氧基)二环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧酰亚胺、N-(九氟正丁烷基磺酰氧基)萘基亚胺、N-(五氟苯磺酰氧基)苯二甲酰亚胺、N-(五氟苯磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(五氟苯磺酰氧基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(五氟苯磺酰氧基)-7-氧杂二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(五氟苯磺酰氧基)二环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧酰亚胺、N-(五氟苯磺酰氧基)萘基亚胺、N-(全氟正辛烷基磺酰氧基)苯二甲酰亚胺、N-(全氟正辛烷基磺酰氧基)二苯基马来酰亚胺、N-(全氟正辛烷基磺酰氧基)二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(全氟正辛烷基磺酰氧基)-7-氧杂二环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(全氟正辛烷基磺酰氧基)二环[2.2.1]庚烷-5，6-氧基-2，3-二羧酰亚胺、N-(全氟正辛烷基磺酰氧基)萘基亚胺、砜化合物、磺酸酯化合物和重氮甲烷化合物中的至少1种非离子性热敏性酸生成化合物。