避振控制系统

摘要

本发明提供一种避振控制系统，其抑制配置有激振侧致动器(80)的装置(100)的振动，在构成该避振控制系统时，将具有避振侧驱动部(23)和由该避振侧驱动部驱动的避振侧可动件(25)的避振侧致动器(30)设置在上述装置上，在对该避振侧致动器的动作进行控制时，使用激振侧致动器的模型运算参数和激振侧可动质量数据，计算使激振侧可动质量移动时的加减速推力，基于该加减速推力，确定避振侧驱动部的控制内容，通过使避振侧可动件移动，将用于消除使激振侧可动质量移动时装置上产生的反作用力的力，作用在装置上，由此，高精度地消除因激振侧致动器的动作而产生的激振力，从而抑制装置的振动。

主权项

一种避振控制系统，其安装在配置有激振侧致动器的装置上，该激振侧致动器具有可向1个轴向移动的激振侧可动件，该避振控制系统用于在将物体载置于所述激振侧可动件上，使该激振侧可动件移动时，抑制所述装置上产生的振动，其特征在于，具有：存储部，其存储所述激振侧致动器的模型运算参数，同时，存储由所述激振侧可动件的质量和所述物体的质量组合而成的激振侧可动质量的数据；运算部，其至少使用所述模型运算参数和所述激振侧可动质量的数据，模拟所述激振侧致动器的理想动作，计算与使所述激振侧可动质量移动时的加减速推力相关的参数；避振侧致动器，其具有固定在所述装置上的避振侧驱动部、和由该避振侧驱动部驱动而向所述轴向移动的避振侧可动件；以及避振侧控制器，其基于由所述运算部求出的与所述加减速推力相关的参数，确定所述避振侧驱动部的控制内容，对所述避振侧驱动部的动作进行控制，以通过使所述避振侧可动件移动，将用于消除所述激振侧可动质量移动时所述装置上产生的反作用力的力，作用在所述装置上。