蓝光光盘用母盘

摘要

本实用新型公开了一种蓝光光盘用母盘，其在光刻胶层与基片之间形成有一碳化吸光层，并将光刻胶层形成于碳化吸光层上，因此，在后续的曝光及显影过程中，碳化吸光层能有效减少光线在界面上的反射，增加光刻胶层下表面的光能吸收，进而提高光线的吸收率，来提高光刻胶的感光分辨率，以增加光刻胶底部的曝光宽度，使光刻胶层底部的曝光宽度接近上表面的宽度，增加沟槽斜率，从而提高沟槽密度以满足蓝光光盘的精度要求。

主权项

一种蓝光光盘用母盘，其特征在于，包括基片、碳化吸光层及光刻胶层，所述碳化吸光层形成于所述基片的一侧面上，所述光刻胶层形成于所述碳化吸光层上，且所述光刻胶层形成凹凸形结构。