用于加工微结构表面的快速刀具伺服装置

摘要

用于加工微结构表面的快速刀具伺服装置，它涉及一种刀具伺服装置。本发明为解决现有的刀具伺服装置往复运动响应速度慢、指令信号跟踪误差大导致微结构表面的加工效率低、加工精度差的问题。所述刀片夹穿过前端盖的中心孔通过第一弹性支撑板与电容位移传感器第一支架的一端固接，所述电容位移传感器第一支架位于前端支撑架内且与前端支撑架同轴设置，所述电容位移传感器第一支架的另一端通过第二弹性支撑板与压电陶瓷前端支撑架固接，所述压电陶瓷调节装置安装在壳体的另一端上，所述压电陶瓷的一端与压电陶瓷前端支撑架螺纹连接，所述压电陶瓷的另一端与压电陶瓷调节装置螺纹连接。本发明的刀具伺服装置用于微结构表面的精加工。

主权项

一种用于加工微结构表面的快速刀具伺服装置，所述刀具伺服装置包括柔性机构(I)、压电陶瓷调节装置(II)、压电陶瓷(18)、前端支撑架(4)、前端盖(6)、电容位移传感器第二支架(15)、电容位移传感器(12)、电容位移传感器调整架(10)和壳体(1)，其特征在于：所述柔性机构(I)包括刀片夹(9)、电容位移传感器第一支架(11)、第一弹性支撑板(7)、第二弹性支撑板(16)和压电陶瓷前端支撑架(17)，所述电容位移传感器第二支架(15)的一端面通过第二弹性支撑板(16)与壳体(1)的一端固接，所述前端支撑架(4)的一端面上设有外沿(4‑1)，前端支撑架(4)的外沿(4‑1)固装在电容位移传感器第二支架(15)上，所述前端盖(6)的一端面通过第一弹性支撑板(7)与前端支撑架(4)的另一端面固接，所述前端盖(6)上加工有中心孔(6‑1)，所述刀片夹(9)穿过前端盖(6)的中心孔(6‑1)通过第一弹性支撑板(7)与电容位移传感器第一支架(11)的一端固接，所述电容位移传感器第一支架(11)位于前端支撑架(4)内且与前端支撑架(4)同轴设置，所述电容位移传感器第一支架(11)的另一端通过第二弹性支撑板(16)与压电陶瓷前端支撑架(17)固接，所述电容位移传感器调整架(10)由主架体(10‑1)和两个侧板(10‑2)构成，所述主架体(10‑1)的两端各与一个侧板(10‑2)垂直固接为一体，两个侧板(10‑2)位于主架体(10‑1)的同一侧，主架体(10‑1)位于电容位移传感器第一支架(11)内，两个侧板(10‑2)与电容位移传感器第一支架(11)的侧壁连接，两个侧板(10‑2)上沿电容位移传感器第一支架(11)的长度方向对应加工有多个长孔(10‑3)，电容位移传感器(12)由两个电容片(12‑1)组成，两个电容片(12‑1)中的一个电容片(12‑1)安装在主架体(10‑1)上，两个电容片(12‑1)中剩下的一个电容片(12‑1)安装在电容位移传感器第二支架(15)上，两个电容片(12‑1)相邻设置；所述压电陶瓷调节装置(II)安装在壳体(1)的另一端上，所述压电陶瓷(18)的一端与压电陶瓷前端支撑架(17)螺纹连接，所述压电陶瓷(18)的另一端与压电陶瓷调节装置(II)螺纹连接。