利用激光空化微射流进行微加工的方法

摘要

本发明公开了一种利用激光空化微射流进行微加工的方法，包括以下步骤：1)将待加工的工件置于液体中；2)激光束通过透镜组在工件附近的液体中聚焦，焦点处产生空化效应；3)空化效应引发指向工件的高速微射流，并同时产生高强度的微冲击波；4)高速微射流冲击到工件表面形成的极高压强对工件表面的材料形成破坏，高速微射流、微冲击波协同去除工件表面材料；5)在连续激光脉冲的作用下，并辅以激光头的纵向或横向进给，在工件上加工出微细表面结构。相比现有技术的激光蚀刻技术，本发明的热效应低，避免了工件的热损伤，同时在加工过程中不会产生加工飞溅物的重新沉积现象，可获得更高的加工精度，还有助于提高加工效率。

主权项

一种利用激光空化微射流进行微加工的方法，其特征在于包括以下步骤：1)将待加工的工件置于液体中；2)激光束通过透镜组在工件附近的液体中聚焦，焦点处产生空化效应；3)空化效应引发指向工件的高速微射流，并同时产生高强度的微冲击波；4)高速微射流冲击到工件表面形成的极高压强对工件表面的材料形成破坏，高速微射流、微冲击波协同去除工件表面材料；5)在连续激光脉冲的作用下，并辅以激光头的纵向或横向进给，在工件上加工出微细表面结构。