用于不同极限孔径的紫外激光双光头精细加工装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于不同极限孔径的紫外激光双光头精细加工装置及方法，包括一台DPSS激光器、10倍扩束系统、光路切换组件、旋转双光楔微孔加工头、振镜扫描加工头、XYZ三维平移台和Z轴旋转台、辅助气体系统、吸尘系统、CCD视觉监测系统和计算机控制系统，旋转双光楔加工头适合直径小于几百微米的圆孔加工并可实现列阵微孔的加工；振镜扫描加工头适合于大于300微米圆孔的精密加工，还可以加工大至几十毫米的曲线图形。本发明突破了单一加工方式极限加工孔径范围和精度受器件性能和加工方式限制的局限性，满足了对不同极限孔径的紫外激光精细加工需求。该加工装置具有重复频率高、稳定性好、光束质量高、脉宽窄的优点。

主权项

一种用于不同极限孔径的紫外激光双光头精细加工装置，其特征在于，该装置包括一台DPSS激光器、10倍扩束镜、光路切换组件、旋转双光楔微孔加工头、振镜扫描加工头、精度为微米量级的XYZ平移台和Z轴旋转台、工件吸附台、辅助气体系统、吸尘系统、CCD视觉监测系统和计算机控制系统；所述的DPSS激光器输出光束经10倍扩束镜扩束后至光路切换组件，分成两光路，一路直接至旋转双光楔微孔加工头，由计算机控制系统控制高速电机旋转，并带动两光楔片一起旋转，从而使得光束旋转，实现孔径几百微米的单个微孔加工，结合XY平移台改变工件位置，实现列阵微孔的加工，另一路经光路切换组件中的第一反射镜片反光至振镜扫描加工头，由计算机控制系统控制振镜扫描加工头中的XY扫描镜，获得极限孔径300微米以上的圆孔和毫米级以上复杂图形的加工；所述的计算机控制系统与DPSS激光器、旋转双光楔微孔加工头的高速电机、低速电机和直动气缸，振镜扫描加工头的XY扫描镜、CCD视觉监测系统、XYZ平移台、辅助气体系统相连接，DPSS激光器的参数、高速电机的转速、低速电机的角位移量、列阵孔的行距列距和行数列数、扫描速度由所述的计算机控制系统设置和控制。