发明名称 | 太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法 | ||
摘要 | 本发明属于检测系统技术领域,具体的说,涉及一种太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法,其包括硅片输运带和成像系统,还包括使成像系统和抽样硅片同步的同步装置,本发明的成像系统和抽样硅片同步,实现对高速运动的输运带上的抽样硅片进行检测,从而实现了光致发光在线抽样检测并且维持了生产线的快速运转,而且减少对硅片的操作以降低破片率。 | ||
申请公布号 | CN102253047A | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
申请号 | CN201110106556.5 | 申请日期 | 2011.04.27 |
申请人 | 3i系统公司 | 发明人 | 李嘉宁;刘长清;赵润川;杨铁成 |
分类号 | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/89(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I |
代理机构 | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人 | 华辉;周端仪 |
主权项 | 一种太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统,包括硅片输运带和成像系统,其特征在于:还包括使成像系统和抽样硅片同步的同步装置。 | ||
地址 | 英国英属开曼群岛大开曼岛 |