发明名称 太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法
摘要 本发明属于检测系统技术领域,具体的说,涉及一种太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法,其包括硅片输运带和成像系统,还包括使成像系统和抽样硅片同步的同步装置,本发明的成像系统和抽样硅片同步,实现对高速运动的输运带上的抽样硅片进行检测,从而实现了光致发光在线抽样检测并且维持了生产线的快速运转,而且减少对硅片的操作以降低破片率。
申请公布号 CN102253047A 申请公布日期 2011.11.23
申请号 CN201110106556.5 申请日期 2011.04.27
申请人 3i系统公司 发明人 李嘉宁;刘长清;赵润川;杨铁成
分类号 G01N21/88(2006.01)I;G01N21/89(2006.01)I 主分类号 G01N21/88(2006.01)I
代理机构 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 代理人 华辉;周端仪
主权项 一种太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统,包括硅片输运带和成像系统,其特征在于:还包括使成像系统和抽样硅片同步的同步装置。
地址 英国英属开曼群岛大开曼岛