具有分离间隙阀门密封隔间的负载锁定室

摘要

本发明的具体实施例包括一负载锁定室，该负载锁定室具有一分离间隙阀门密封隔间。在一具体实施例中，一负载锁定室包括一主要组合件、一第一间隙阀门密封隔间及一密封组合件。主要组合件之中形成一基板输送腔。贯穿主要组合件形成二基板进接端口，并将该二基板进接端口流体耦合至腔。第一间隙阀门密封隔间具有一孔，该孔排列邻近于该些进接端口之一并与之成一直线。第一间隙阀门密封隔间和主要组合件分离。密封组合件将第一间隙阀门密封隔间耦合至主要组合件。

主权项

一种负载锁定室，包括：一主要组合件，所述主要组合件具有一基板输送腔以及贯穿该主要组合件形成的两个基板进接端口，所述两个基板进接端口流体耦合至该基板输送腔；一下方基板支撑结构，用以支撑该基板输送腔中的一第一基板；一上方基板支撑结构，用以支撑该基板输送腔中的一第二基板；一第一致动器，可操作地控制该下方基板支撑结构的高度；以及一第二致动器，可操作地控制该上方基板支撑结构的高度，而无论该下方基板支撑结构的高度如何。