用于引导辐射束的光学模块

摘要

一光学模块用于引导EUV辐射束。该光学模块具有：能被抽空的腔室(32)和容纳在腔室(32)中的至少一个反射镜。反射镜具有：多个个体反射镜(27)，它们的反射面(34)彼此互补以形成总反射镜反射面；支承结构，各自通过导热部(37)机械连到各个体反射镜(27)的反射镜本体(35)；反射镜本体(35)的至少一些具有关联致动器(50)，用于实现反射镜本体(35)相对支承结构(36)在至少一个自由度上的预定位移。导热部(37)设计成将反射镜本体(35)吸收的至少1kW/m2的热功率密度散失到支承结构(36)。在光学模块的一方面，集成电子位移电路与空间邻近的可发生位移的个体反射镜(27)的每一个关联。此变型例中，控制装置与可发生位移的个体反射镜(27)的集成电子位移电路有信号连接。结果得到一种光学模块，可用于构造即使个体反射镜上有不可忽视的热负荷也能确保高EUV辐射吞吐量的照明光学系统。

主权项

一种用于引导辐射束的光学模块，‑具有至少一个反射镜(13，14；26，28)，所述至少一个反射镜(13，14；26，28)‑‑具有多个个体反射镜(27)，所述个体反射镜(27)的反射面(34)彼此互补以形成总反射镜反射面，‑‑具有支承结构(36)，所述支承结构(36)各自通过导热部(37)机械地连接到各个体反射镜(27)的反射镜本体(35)，‑‑其中，所述反射镜本体(35)中的至少一些具有用于实现反射镜本体(35)相对于所述支承结构(36)在至少一个自由度上的预定位移的关联的致动器(50)，‑‑其中，集成电子位移电路(103)与空间上邻近的、可发生位移的个体反射镜(27)的每一个相关联，‑具有中央控制装置(153)，所述中央控制装置(153)具有与所述可发生位移的个体反射镜(27)的所述集成电子位移电路(103)的信号连接(151，152，120)。