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发明名称
SUBSTRATE HOLDER, STAGE APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号
EP1796143(B1)
申请公布日期
2011.11.23
申请号
EP20050774525
申请日期
2005.08.29
申请人
NIKON CORPORATION
发明人
SHIBAZAKI, YUICHI
分类号
H01L21/68;G03F7/20
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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