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发明名称 SEMICONDUCTOR SURFACE TREATING AGENT COMPOSITION AND METHOD FOR TREATING SEMICONDUCTOR SURFACE USING THE SEMICONDUCTOR SURFACE TREATING AGENT COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP2249206(A4) 申请公布日期 2011.11.23
申请号 EP20090716388 申请日期 2009.03.06
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 MIZUTA, HIRONORI;MATSUDA, OSAMU
分类号 G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
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