发明名称 |
一种常压等离子带钢镀膜工艺 |
摘要 |
本发明公开了一种常压等离子带钢镀膜工艺,基板卷开卷后进入常压等离子镀膜单元;采用两个电极,其中高压电极位于钢板的上方,用阻挡层覆盖;运行的基板位于高压电极下方,基板接地或位于接地电极的上方,通过绝缘物质阻隔;通过通入有机前驱体及其载气,气体流量大于0.01sccm以及反应性气体,流量大于1sccm,在两个电极间加上交流电或直流电,频率在200Hz-20kHz之间;介电层或者绝缘层阻挡了电流,产生介电放电;介质阻挡放电产生等离子,钢板在通过等离子区域时,进行镀膜。整个工艺过程环保,可以实现多种镀膜产品;与带钢真空镀膜相比,工艺过程简单,投资低。 |
申请公布号 |
CN101376968B |
申请公布日期 |
2011.11.23 |
申请号 |
CN200710045285.0 |
申请日期 |
2007.08.27 |
申请人 |
宝山钢铁股份有限公司 |
发明人 |
杨立红;傅建钦;张健;杨晓萍 |
分类号 |
C23C16/50(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;H05H1/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/50(2006.01)I |
代理机构 |
上海开祺知识产权代理有限公司 31114 |
代理人 |
竺明 |
主权项 |
一种常压等离子带钢镀膜工艺,基板卷开卷后进入常压等离子镀膜单元;采用两个电极,其中高压电极位于钢板的上方,用阻挡层覆盖;运行的基板位于高压电极下方,基板接地或位于接地电极的上方,通过绝缘物质阻隔;通过载气通入有机前驱体,气体流量大于0.01sccm;以及反应性气体,流量大于1sccm;在两个电极间加上交流电,交流电频率在200Hz‑20kHz之间;介电层或者绝缘层阻挡了电流,产生介电放电;介质阻挡放电产生等离子,基板在通过等离子区域时,进行镀膜,基板运行速率在2~200米/分之间;所述的介质阻挡放电为处于辉光放电、汤森放电或低温等离子三种状态。 |
地址 |
201900 上海市宝山区富锦路果园 |