用于平板显示器的化学气相沉积设备

摘要

本发明是关于一种用于平板显示器(flat display)的化学气相沉积设备(chemical vapor deposition)包含：腔室，在所述腔室中执行用于所述平面显示器的沉积工艺；基座，其安装在腔室中，能够提升且具有上表面，在所述上表面上加载所述平板显示器；以及至少一个冷却块，其提供在腔室的底部表面上，以在基座下降时接触基座，且冷却在沉积工艺期间被加热的基座。由于强行冷却基座以在相对较短时间内将基座温度降低到恰当水平，因而可减少设备维护和修理时间的等待时间(standby time)。因此，改进设备的操作速率和其生产率，且防止工艺损失的产生。

主权项

一种用于平板显示器的化学气相沉积设备，其特征在于：所述设备包括：腔室，在所述腔室中执行用于所述平板显示器的沉积工艺；基座，其安装在所述腔室中，能够提升且具有上表面，在所述上表面上加载所述平板显示器；以及至少一个冷却块，其提供在所述腔室的底部表面上，以在所述基座下降时接触所述基座，且冷却在所述沉积工艺期间被加热的所述基座；所述基座包括：衬底加载部分，其水平地配置在所述腔室中并支撑所述平板显示器；以及支柱，其具有上端，所述上端固定在所述衬底加载部分的中心处；以及下端，所述下端穿过所述腔室的下壁以配置在所述腔室外部；所述冷却块包括：主体部分，其接触所述腔室的所述底部表面；以及冷却线路，其提供在所述主体部分中，预定的冷却剂通过所述冷却线路进行循环；其中所述冷却块的上表面平行于所述衬底加载部分的下表面，以使得所述冷却块与所述衬底加载部分的所述下表面具有表面接触。