发明名称 |
对准标记测量信号处理方法 |
摘要 |
一种对准标记测量信号处理方法,在对对准信号进行采样后利用拟合模型进行信号拟合求解出最佳对准位置,利用光强采样和位置采样获得的结果进行模型拟合,在拟合模型参数的同时对信号的周期进行拟合,从而确定信号的相位,最终求解确定最佳对准位置。 |
申请公布号 |
CN102253609A |
申请公布日期 |
2011.11.23 |
申请号 |
CN201010177516.5 |
申请日期 |
2010.05.18 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
李运锋;赵新;韩悦;韦学志 |
分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F9/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 11278 |
代理人 |
王光辉 |
主权项 |
1.一种对准标记测量信号处理方法,其特征在于在利用对准系统对对准信号进行采样后利用下述拟合模型进行信号拟合求解出最佳对准位置:<img file="FSA00000124628700011.GIF" wi="1648" he="121" />式中,I为光强,x为位置,a<sub>0</sub>,a<sub>1</sub>,Λ,a<sub>i</sub>、b<sub>0</sub>,b<sub>1</sub>,Λ,b<sub>j</sub>为模型系数,i,j为非负的整数,<img file="FSA00000124628700012.GIF" wi="35" he="44" />为相位,P为信号的周期;利用光强和位置采样,进行数值求解后确定模型系数a<sub>0</sub>,a<sub>1</sub>,Λ,a<sub>i</sub>与b<sub>0</sub>,b<sub>1</sub>,Λ,b<sub>j</sub>、信号周期P和相位<img file="FSA00000124628700013.GIF" wi="36" he="42" />的值。 |
地址 |
201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 |