| 发明名称 | 一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法 | ||
| 摘要 | 一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法，在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段，首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为30ml/s-50ml/s，吹气时间设为35sec-45sec；其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝，其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1；然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气；由于使用除湿除尘压缩空气来代替氮气或直接取消部分工位的氮气的使用，达到降低氮气使用量的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN102255055A | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
| 申请号 | CN201110179683.8 | 申请日期 | 2011.06.29 |
| 申请人 | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 | 发明人 | 丁和平 |
| 分类号 | H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人 | 贾玉健 |
| 主权项 | 一种OLED生产工艺中减少氮气用量的方法，其特征在于：在OLED生产工艺的黄光区的生产阶段，首先将涂胶前清洗机上的冷却部使用的氮气吹气量设为30ml/s‑50ml/s，吹气时间设为35sec‑45sec；其次在显影部分用除湿除尘压缩空气和氮气的混合气体来实现显影隔绝，其中除湿除尘压缩空气和氮气质量比为2∶1；然后在感光胶压送和直板烘箱用除湿除尘压缩空气来隔离外界空气。 | ||
| 地址 | 528000 广东省佛山市顺德区大良街道五沙新悦路13号 | ||