| 发明名称 | 用于生长悬挂外延的衬底及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种悬挂外延生长衬底及其制造方法。所述悬挂外延生长衬底包括：衬底；用于悬挂外延生长的多个图案区，沿第一方向形成在所述衬底上；和至少一个溶液阻隔层，接触所述多个图案区并沿第二方向形成在所述衬底上，其中所述溶液阻隔层在半导体的制造工艺期间防止溶液的流动，因此防止半导体装置由于悬挂外延生长工艺中的半导体装置的空气间隙和百分比缺陷而导致的污染。 | ||
| 申请公布号 | CN101026092B | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
| 申请号 | CN200610160403.8 | 申请日期 | 2006.11.15 |
| 申请人 | 三星LED株式会社 | 发明人 | 白好善;张泰勋;成演准;司空坦;梁旼镐 |
| 分类号 | H01L21/20(2006.01)I;H01L21/308(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 一种悬挂外延生长衬底，包括：衬底；用于悬挂外延生长的多个图案区，沿第一方向形成在所述衬底上；和至少一个溶液阻隔层，接触所述多个图案区并沿第二方向形成在所述衬底上，其中所述溶液阻隔层在半导体的制造工艺期间防止溶液的流动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||