检查装置和检查方法

摘要

一种检查装置，包括：台，样品被放置在台上，样品具有形成在其表面上的图案；物镜，用于观察所述图案；照明光学系统；检测光学系统；成像部；以及分析部。照明光学系统具有光源和偏光器。照明光学系统从光源选择任意波长范围，并且经由偏光器和物镜落射照明样品。检测光学系统包括具有与偏光器的偏振方向交叉的偏振面的检偏器。检测光学系统经由物镜和检偏器检测来自所述样品的光，并且根据该光获得样品表面的傅立叶图像。成像部捕捉傅立叶图像。分析部执行计算处理，以获得傅立叶图像的目标区域，该目标区域相比于其他区域受图案状态的影响更大。

主权项

一种检查装置，包括：台，所述台用于放置样品，所述样品具有形成在表面上的图案；物镜，所述物镜观察所述图案；照明光学系统，所述照明光学系统包括光源和偏光器，从所述光源选择任意波长区域，并且经由所述偏光器和所述物镜落射照明所述样品；检测光学系统，所述检测光学系统包括具有与所述偏光器的偏振方向交叉的偏振面的检偏器，经由所述物镜和所述检偏器检测来自所述样品的光，并且基于所述光获得样品表面的傅立叶图像；成像部，所述成像部成像所述傅立叶图像；分析部，所述分析部执行计算处理，以在所述傅立叶图像中确定显著区域，所述显著区域相比于其他区域受所述图案的状态的影响更大，所述分析部基于多个所述傅立叶图像，为图像内的每一位置计算在多个所述傅立叶图像之间发生的阶调的差，并且进一步从所述阶调的差的幅度确定所述显著区域，其中所述傅立叶图像每个都具有所述图案的不同曝光条件。