发明名称 Apparatus for processing wafers
摘要
申请公布号 EP1052681(B1) 申请公布日期 2011.11.23
申请号 EP20000303217 申请日期 2000.04.17
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MITCHELL, ROBERT J.C.S;RELLEEN, KEITH D.;RUFFELL, JOHN
分类号 H01L21/00;B65G49/07;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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