发明名称 一种单晶硅生长用籽晶
摘要 本实用新型提供一种单晶硅生长用籽晶,所述籽晶为圆柱体,在圆柱体表面中上部开有两凹槽,两凹槽位于同一水平线上以圆柱体中心线为中心对称且形状相同,凹槽形状为上部一定角度的斜面加下部的一弧面组成。本实用新型可以有效保障籽晶的中心度,降低籽晶断裂的风险,相应提高了籽晶的使用寿命,同时加工过程简单,可大规模普及使用。
申请公布号 CN202047169U 申请公布日期 2011.11.23
申请号 CN201120123086.9 申请日期 2011.04.25
申请人 陕西西京电子科技有限公司 发明人 孙武;郭樱花
分类号 C30B15/36(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 主分类号 C30B15/36(2006.01)I
代理机构 西安文盛专利代理有限公司 61100 代理人 佘文英
主权项 一种单晶硅生长用籽晶,其特征是所述籽晶为圆柱体,在圆柱体表面中上部开有两凹槽,两凹槽位于同一水平线上以圆柱体中心线为中心对称且形状相同,凹槽形状为上部一定角度的斜面加下部的一弧面组成。
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