发明名称 | 一种单晶硅生长用籽晶 | ||
摘要 | 本实用新型提供一种单晶硅生长用籽晶,所述籽晶为圆柱体,在圆柱体表面中上部开有两凹槽,两凹槽位于同一水平线上以圆柱体中心线为中心对称且形状相同,凹槽形状为上部一定角度的斜面加下部的一弧面组成。本实用新型可以有效保障籽晶的中心度,降低籽晶断裂的风险,相应提高了籽晶的使用寿命,同时加工过程简单,可大规模普及使用。 | ||
申请公布号 | CN202047169U | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
申请号 | CN201120123086.9 | 申请日期 | 2011.04.25 |
申请人 | 陕西西京电子科技有限公司 | 发明人 | 孙武;郭樱花 |
分类号 | C30B15/36(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/36(2006.01)I |
代理机构 | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人 | 佘文英 |
主权项 | 一种单晶硅生长用籽晶,其特征是所述籽晶为圆柱体,在圆柱体表面中上部开有两凹槽,两凹槽位于同一水平线上以圆柱体中心线为中心对称且形状相同,凹槽形状为上部一定角度的斜面加下部的一弧面组成。 | ||
地址 | 710065 陕西省西安市电子城电子西街3号 |