NOVEL SALT HAVING FLUORINE-CONTAINING CARBANION STRUCTURE, DERIVATIVE THEREOF, PHOTOACID GENERATOR, RESIST MATERIAL USING THE PHOTOACID GENERATOR, AND PATTERN FORMING METHOD,申请号EP20090719848-传众专利搜索

发明名称	NOVEL SALT HAVING FLUORINE-CONTAINING CARBANION STRUCTURE, DERIVATIVE THEREOF, PHOTOACID GENERATOR, RESIST MATERIAL USING THE PHOTOACID GENERATOR, AND PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号	EP2264007(A4)	申请公布日期	2011.11.23
申请号	EP20090719848	申请日期	2009.03.10
申请人	CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED	发明人
分类号	C07C317/18;C07C381/12;C08F20/26;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027	主分类号	C07C317/18
代理机构		代理人
主权项
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