集成电路的输出管压点的金属连线结构

摘要

本实用新型涉及一种集成电路的输出管压点的金属连线结构，包括输出管，所述输出管上设有压点区，所述输出管上设有一第一介质薄膜层，所述第一介质薄膜层上的接触孔正对压点区，所述第一介质薄膜层的接触孔及沟槽穿过第一介质薄膜层，其内填充有钛钨过度层及第一层输出管压点连线金属层，所述第一介质薄膜层上方设有第二介质薄膜层，所述第二介质薄膜层的接触孔正对压点区，所述第二介质薄膜层的接触孔及沟槽穿过第二介质薄膜层，其内填充有第二层输出管压点连线金属层，所述第二介质薄膜层上方设有一表面钝化保护层，所述表面钝化保护层对应压点区的位置设有输出管压点沟槽。

主权项

一种集成电路的输出管压点的金属连线结构，包括输出管（1），所述输出管（1）上设有压点区（2），其特征在于：所述输出管（1）上设有一第一介质薄膜层（3），所述第一介质薄膜层（3）上的接触孔正对压点区（2），所述第一介质薄膜层的接触孔及沟槽穿过第一介质薄膜层（3），其内填充有钛钨过度层（4）及第一层输出管压点连线金属层（5），所述第一介质薄膜层（3）上方设有第二介质薄膜层（7），所述第二介质薄膜层（7）的接触孔正对压点区，所述第二介质薄膜层（7）的接触孔及沟槽穿过第二介质薄膜层（7），其内填充有第二层输出管压点连线金属层（8），所述第二介质薄膜层（7）上方设有一表面钝化保护层（9），所述表面钝化保护层（9）对应压点区的位置设有输出管压点沟槽（6）。