| 发明名称 | 通过具有低能量的粒子形成绝缘层的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及由低能量粒子束沉积方法在电子器件上制备功能层如保护、封装和配向层的方法，涉及由所述方法可获得的功能层以及包含这样的功能层的电子器件。 | ||
| 申请公布号 | CN102257650A | 申请公布日期 | 2011.11.23 |
| 申请号 | CN200980150728.X | 申请日期 | 2009.11.18 |
| 申请人 | 默克专利股份有限公司 | 发明人 | M·科勒;O·L·帕里;D·斯帕罗;O·亚罗修克;E·捷列什 |
| 分类号 | H01L51/52(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 邓毅 |
| 主权项 | 在电子器件或其组件上提供层的方法，包括使该电子器件或组件暴露于低能粒子束，从而将所述粒子的层沉积到电子器件或组件上的步骤。 | ||
| 地址 | 德国达姆施塔特 | ||